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高溫箱式真空氣氛爐怎么使用

更新時(shí)間:2018-04-15      瀏覽次數(shù):1103

高溫箱式真空氣氛爐怎么使用1準(zhǔn)備工作
  a,檢查電源線接觸是否良好
  b,檢查連接線是否正常
  c,檢查冷卻水是否正常
  d,檢查密封性是否正常
  e,準(zhǔn)備所需工具:無(wú)塵紙、*、帆布手套、作業(yè)手套、口罩、耐高溫手套、石墨推車、不銹鋼托盤
  2開(kāi)爐
  a,打開(kāi)主電源開(kāi)關(guān)
  b,向爐體充氬氣至大氣壓,打開(kāi)爐體前門,取下石墨蓋板
  c,將輸送車開(kāi)關(guān)打至OUT,依次操作UP-FORWARD-UP-BACK-DOWN按鈕,取出。石墨坩堝,依次放置于石墨推車上輸送車開(kāi)關(guān).
  d,清爐清理爐膛內(nèi)壁、石墨件及保溫材料上的污物
  3裝料
  a,將石墨坩堝放置于輸送車平臺(tái)上,使用限位桿確定其位置,依次裝入硅料。
  b、拔出限位桿,輸送車開(kāi)關(guān)打至IN,依次操作UP-FORWARD-BACK-DOWN,將坩堝裝入爐膛內(nèi),并確定輸送車會(huì)到初始位置。
  c、裝入石墨蓋板,擰緊石墨螺栓,關(guān)緊爐門
  4抽氣
  a、檢查爐門是否關(guān)緊,真空系統(tǒng)是否密封
  b、置DP按鈕于DPON,打開(kāi)干式真空泵,打開(kāi)真空計(jì)開(kāi)關(guān)P1G1,打開(kāi)干式真空泵。閥門,開(kāi)始抽氣測(cè)試泄漏率,
  c、當(dāng)壓力表指示為50Pa是關(guān)閉真空泵閥門(非真空泵)露鋁≤1Pa/min,打開(kāi)氬氣閥門充氬氣(20L/min)。
  加熱先打開(kāi)水環(huán)泵再按RUN,開(kāi)始工藝加熱。
  冷卻
  a、加熱結(jié)束后,按工藝條件進(jìn)行冷卻;

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